項目

指標(biāo)

高純氬

純氬

氬（Ar）純度（體積分數(shù)）/10-2 ≥

99.999

99.99

氫（H2）含量（體積分數(shù)）/10-6 ≤

0.5

5

氧（O2）含量（體積分數(shù)）/10-6 ≤

1.5

10

氮（N2）含量（體積分數(shù)）/10-6 ≤

4

50

甲烷（CH4）含量（體積分數(shù)）/10-6 ≤

0.4

5

一氧化碳（CO）含量（體積分數(shù)）/10-6 ≤

0.3

5

二氧化碳（CO2）含量（體積分數(shù)）/10-6 ≤

0.3

10

水分（H2O）含量（體積分數(shù)）/10-6 ≤

3

15

注：液態(tài)氬不檢測水分含量。